2.等离子清洗可以让用户避免使用对人体有害的溶剂，激光刻蚀硅片同时也避免了被清洗物容易湿洗的问题。 3.避免使用 ODS，例如三氯乙烷。这种清洗方法属于环保绿色清洗方法，因为有害溶剂可以防止清洗后有害污染物的产生。随着世界对环境保护的极大兴趣，这一点变得越来越重要。第四，无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子的方向不强，深入到细孔和凹入物体的内部完成清洗操作，所以不需要考虑被清洗物体的形状。
今天的等离子清洗如何解决激光微盲孔结构的清洗？随着HDI板的直径越来越小，激光刻蚀机工作原理传统的化学清洗工艺已经无法处理盲孔结构清洗，而且液体的表面张力使得液体特别难以穿透孔洞。激光钻孔使用微盲孔加工板时，可靠性不好。目前应用于微埋盲孔的孔清洗工艺主要是超声波清洗和等离子清洗，而超声波清洗主要依靠空化效应来达到清洗目的。去污性能加剧了废液处理的问题。此阶段常用的工艺主要是等离子清洗工艺。
此类环境问题在全球环境问题中日益突出。 (4) 与激光等直射光不同，激光刻蚀机工作原理高频使用无线电范围。等离子的方向性并非如此，你不必过多考虑要清洗的物体的形状，因为等离子可以深入到物体的孔隙和凹坑中来完成清洗操作。此外，这些难清洗部分的清洗（效果）效果等于或大于氟利昂清洗（效果）。 (5)使用电晕等离子处理机可以大大提高清洗效率。
后来发现可以将低压气态物质转化为等离子体状态的形式有多种，激光刻蚀机工作原理如电弧放电、辉光放电、激光、火焰、冲击波等。等离子清洗机的放电原理：利用外部静电场或高频静电场对蒸汽进行导电。这称为蒸汽排放。排气是等离子清洗机产生等离子...
