1、电极表面活化能(铁电极表面如何被刻蚀活化) 一些非聚合物无机气体(Ar2、N2、H2、O2 等)在高低频下被激发,电极表面活化能产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。一般来说,在等离子清洗中,活性气体可以分为两类。一种是惰性气体(Ar2、N2 等)的等离子体,另一种是反应气体(O2、H2 等)的等离子体。等离子体产生的原理如下。对一...
2、电极上的附着力(分析气泡在电极上的附着力) 这是辉光放电的一个显著特点,电极上的附着力而且在正常辉光放电中,两电极间的电压不随电流变化。由处于能量活跃的激发态的原子、离子或分子向下跃迁发光而形成的等离子体的颜色。由于每种气体中的能级有不同的能量转换,每种工艺气体表现出不同的发光特性,从而产生不同的颜色特性。通过在 15-25 kHz 的频率下...
3、电极附着力单位(检验电极附着力的方法有)端电极附着力试验 二、处理宽度小:输出焰体直径小,端电极附着力试验直径2~5mm,适合处理窄边及细小沟槽位置。三、无二次污染:采用进口专用电极材料,烧损极小,减少污染物产生,避免造成工件的二次污染。四、功率可调:功率连续可调,喷嘴结构可根据需要调整,可适应不同处理宽度。五、稳定性高:采用德国电源技术,故障率极低,避免...