2）将用于等离子体等离子体清洗的气体引入真空室，硅溶胶对玻璃有附着力吗并保持室内压力稳定，根据清洗材料不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内电极与接地设备之间施加高频电压，使气体被击穿，并发生辉光放电产生等离子体，使真空室内产生的等离子体完全覆盖处理后的工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续时间从几十秒到几分钟不等。4）清洗完毕后，切断电源，通过真空泵排出气体和气化的污物。
在辉光放电的情况下，硅溶胶对玻璃有附着力吗在高频电场下处于低压状态的氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子被加速分解为原子和分子，产生电子和解离。这些点是带正电和带负电的原子和分子。当以这种方式产生的电子被电场加速时，它们获得高能量并与周围的分子或原子碰撞。结果，分子和原子中的电子被激发，它们本身变成激发态或离子态。此时，物质存在的状态是等离子体状态。等离子体和材料表面之间有两种主要类型的反应。
等离子清洗常用于光刻胶的去除工艺中,在等离子体反响体系中通入少数的氧气,在强电场作用下,使氧气产生等离子体,敏捷使光刻胶氧化成为可挥发性气体状况物质被抽走。这种清洗技能在去胶工艺中具有操作便利、效率高、外表干净、无划伤、有利于确保产品的质量等优点,而且它不必酸、碱及有机溶剂等,因此越来越受到人们重视。。
控制部分的主要电器部件有：真空泵、RF电源、真空计、计时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯的蜂鸣器、功率调节器、放空按钮(带自锁)、气体一按钮(带自锁)、气体二按钮(带自锁)、高频电源按钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。
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