深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

离子束刻蚀设备

  XY轴采用精密级滑块及细杆调节,感应耦合等离子束刻蚀确保贴合精度。  压力显示采用日本SMC数显压力表,精准、直观。  高可靠性感应系统,配置多项报警功能,实现安全高效。  进口PLC微电脑集中控制,工作稳定可靠,可扩展功能强。。

感应耦合等离子束刻蚀

冷等离子体: 电子温度高(103~104K)、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。2、等离子发生器按等离子体所处的状态:(1)平衡等离子体等离子发生器:气体压力较高,北方华创 感应耦合等离子体刻蚀机电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。

两类等离子体各有特点和用途(见等离子体的工业应用)。气体放电分为直流放电和交流放电。 在科学技术和工业领域应用较多的发生器有电弧等离子体发生器(又称等离子体喷枪、电弧加热器)、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器五类。最典型的为电弧、高频感应、低气压等离子体发生器三类。它们的放电特性分别属于弧光放电、高频感应弧光放电和辉光放电等类型。

2015年初,感应耦合等离子束刻蚀SEMI要求美国政府修改半导体设备出口管制清单,取得突破性成果。认识到中国存在各向异性等离子刻蚀设备,近20年来美国国家安全出口取消管制(专业光伏媒体/世纪新能源网)。这也离不开中微半导体在市场上推出的等离子清洗机CCP机,以及北方微电子在Logic 28nm硅刻蚀方面的历史性突破。。

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