使用脉冲等离子触发器和专有工艺气体可以快速安全地对表面进行消毒。在包装乳制品和其他食品时，面漆层间附着力即使是微生物、细菌和真菌的污染也会导致严重的问题。。等离子体表面处理原理等离子体，第四种物质的状态，是由被剥夺了部分电子的原子和原子被电离后产生的正负电子所组成的一种电离的气态物质。 它的能量范围高于气体、液体和固体物质，并且有具有特定能量分布的电子、离子和中性粒子。
1.等离子处理器在汽车内饰部件制造中的应用汽车内饰部件主要包括以下子系统：仪表板系统、副仪表板系统、车门饰板、车顶、座椅、支柱保护系统、其他驾驶室内饰系统、驾驶室空气循环系统、行李箱总成、发动机舱控制系统、地毯、安全带、安全气囊、方向盘和内部照明、汽车内部声学系统。用于汽车内饰材料的复杂配置，面漆层间附着力包括各种聚合物、金属、半导体、橡胶、皮革、电路板等。这会导致涂层、胶合和印刷出现重大问题。
然而，聚氨酯面漆层间附着力问题193nm光阻的化学组分与248nm光阻有很大差异，在恶劣的等离子体环境下，其抗蚀刻能力较差。为了保证曝光工艺窗口，需要采用的193nm光阻的厚度更薄。在此情况下，栅极图形尺寸控制，如特征尺寸、线宽均匀性、侧璧角度、侧壁形状(凹进，突出）和线宽粗糙度等特性都是需要严格控制的工艺参数。 传统的多晶硅栅等离子表面处理机蚀刻采用的无机硬掩膜(一般为氮化硅)蚀刻方式极易产生栅极侧壁粗糙的问题。
真空泵的启停控制由带锁定功能的亮灯启动按钮控制，面漆层间附着力...
