（1）化学反应在化学反应里常用的气体有氢气（H2）、氧气（02）、甲烷（CF4）等，涂料的附着力机理这些气体在电浆内反应成高活性的自由基，其方程式为：这些自由基会进一步与材料表面作反应。其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在压力较高时，对自由基的产生较有利，所以若要以化学反应为主时，就必须控制较高的压力来近进行反应。
真空等离子体清洗过程中，涂料的附着力机理主要依靠活性粒子的“粘附”来去除物体表面污渍。从反应机理看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发成等离子体态；气相物质吸附在固体表面；吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；分子分析产物形成气相；反应残留物与表层分离。
不同等离子体的自偏压不同，聚甲醛塑料上涂料的附着力超声等离子体的自偏压在0V左右，射频等离子体的自偏压在250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，三种等离子体的机理不同。超声等离子体发射射频等离子体的反应是物理反应，射频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。超声等离子体清洗对被清洗表面的影响最大，因此在实际半导体生产应用中多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。
当然等离子清洗机一方面利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或还原的物体，聚甲醛塑料上涂料的附着力Ar+轰击污垢形成挥发性污垢，用真空泵抽走，避免了表面物质的反应；另一方面，亚稳原子容易利用氩形成，然后与氧和氢分子碰撞时发生电荷转换和结合，形成氧氢活性原子作用于物体表面氢气属于不稳定气体，主要用于还原，清洗掉金属表面的氧化物。
