等离子体的出现已有两个多世纪了，亲水性物质干燥后胶体物质随着科学技术的发展，无论在的生活中还是工作中，人们都会接触到很多有关等离子体的产品，其应用范围也比较广，现已广泛应用于材料科学、化学工业、环境保护、生命科学、军工等领域。等离子体含义等离子体又叫电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
下面介绍几种在超大规模集成电路生产中比较常用的等离子体蚀刻机台，亲水性物质比较分别是电容合等离子体蚀刻机台( Capacitively CoupledPlasma，CCP)、电感合等离子体机台( Inductively Coupled Plasma，ICP＆ TransformerCoupled Plasma，TCP)、电子回旋共振等离子体蚀刻机台( Electron Cyclotron Resonance，ECR)、远距等离子体蚀刻机台( Remote Plasma)和等离子体边缘蚀刻机台( Plasma BevelEtch)。
由此可见，亲水性物质比较跟超声波清洗机比较，等离子清洗机更具优势，而且它的这些优势是超声波清洗机所无法比拟的。除此之外，运用等离子清洗机进行清洗作业，还不...
