引线键合是芯片和外部封装体之间互连常见和有效的连接工艺，二氧化钛表面改性研究现状如不及时进行清洗处理而直接键合，将造成虚焊、脱焊和键合强度偏低等缺陷。采用Ar和H2的混合气体进行几十秒的等离子清洗机的处理，可以使污染物反应生成易挥发的二氧化碳和水。由于等离子清洗机时间短，在去除污染物的同时，不会对键合区周围的钝化层造成损伤。
例：H2+e-→2H※+e-H※+非挥发性金属氧化物→金属＋H2O从反应式可见，二氧化钛表面改性研究现状氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，清洁金属表面。物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀（SPE）。
3.适用工况范围广：设备启停快十分钟，二氧化钛表面改性研究现状随用随开，不受气温影响。可在250℃以下及有雾工况下正常运行。环境温度-50℃，在+50℃下仍能正常运行。4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢、铜、钼、环氧树脂等材料组成，抗氧化，采用防腐材料，电极不与废气直接接触，从根本上解决了设备的腐蚀问题。5.结构简单：只需用电，操作极其简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工成本。6.无机械设备：故障率低，维修方便。
氧气(O2):清洗方式:物理+化学氮气(氮气，二氧化钛表面改性研究现状N2):清洗方式:物理+化学二氧化碳(CO2):清洗方式:物理+化学氩气(氩气，Ar):清洗方式:物理压缩空气(Compressed Air,CDA):清洗方式:采用等离子体清洗，可大大提高清洗效率。
氧...
