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图一 微波等离子清洗机结构示意图真空系统结构微波等离子清洗机真空系统主要包括等离子工作腔、磁流体密封、真空连接管道(包含气动角阀)、真空测量计及真空泵等。激发的微波等离子体在工作腔内形成特定的等离子分布,8牛顿胶带测镀银层附着力对放置在工作腔内的被清洗工件进行清洗及表面处理,为此,工作腔内需要包含真空、充气、放置样品支架、观察窗口等设施,以确保特定应用的需要。

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系统温度发射光谱诊断:使用大气压等离子体,镀银层附着力测量由于探针和其他诊断技术对等离子体的干扰大,很难测量等离子体的电子温度。然而,等离子清洗系统的大气压等离子系统温度可以通过研究气体分子的旋转温度来获得。使用发射光谱收集等离子体气体温度数据是一种在不影响放电过程的情况下更准确地获取放电区域温度的便捷可行的方法。

从磁场能量变化的角度很容易理解,8牛顿胶带测镀银层附着力当电流变化时,磁场能量也...

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