半导体制造过程需要（机器）和无机物的参与。此外，氧化锆表面改性由于工艺是在净化室人工参与完成的，半导体晶圆不可避免地被各种杂质污染。根据污染源的来源和性质，大致可分为颗粒物、有机物、金属离子和氧化物四类。
等离子体本身不带电，氧化锆表面改性与表面没有电位差。因此，发动机控制罩、气流计、检测传感器等各种金属部件也可以非常有效地进行清洁。此外，在大多数情况下，表面会形成稳定的氧化层，有利于塑料的粘附。 2.在对洁净度要求非常高、对无充放电要求严格的电子行业中，大气压/全宽等离子技术在电子行业中的应用主要针对电子元器件或电路板的加工制造。等离子技术的引入是这些工艺的一项创新。
等离子体清洗逐渐广泛应用于半导体制造、微电子封装、精密机械等行业。等离子清洗技术的最大特点是无论被处理对象的基材类型如何，陶瓷和氧化锆表面改性都可以进行处理。它可以处理金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧，甚至聚四氟乙烯等，可以实现整体、局部和复杂结构的清洗。
..根据当今常用的冷等离子处理器，爱迪特氧化锆表面改性常用的辅助加工应用领域有：半导体集成电路和其他微电子器件的制造工具、模具和工程金属的硬化药物生物相容性包装材料的制备● 表面腐蚀保护和其他薄层沉积物● 特种陶瓷（包括超导材料） ● 新化学品、新材料制造● 金属精炼● 高分子薄膜的印刷与制备● 危险废物处理● 焊接● 磁记录材料和光波导材料● 微细加工● 照明与显示● 电子电路和等离子二极管开关n 等离子化学工业（将煤分解成乙炔的氢等离子、等离子煤气化、等离子裂解重烃、等离子炭黑、等离子电石等） ………………。
