2、低温等离子发生器原理 等离子发生器是通过低压放电（辉光、电晕、高频、微波等）产生的电离气体。在电场的作用下，高能束表面改性技术设备气体中的自由电子从电场中获得能量，成为高能电子。这些高能电子与气体中的分子和原子发生碰撞。如果电子能量大于分子或原子的激发能，则会产生激发分子或原子的自由基。不同能量的离子和来自恒星的辐射，冷等离子体中的活性粒子（可以是化学活性气体、稀有气体或元素金属气体）的能量一般为CC或其他C键。
中性粒子和离子的温度为102K-103K，高能束表面改性考点对应的电子能量温度高达105K，称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”，属电中性(准中性)。这种气体产生的自由基和离子具有很高的活性，其能量足以打破几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面引起化学反应。等离子体中粒子的能量通常为几到几十电子伏，大于聚合物材料的键能(几到几十电子伏)。它可以完全打破有机大分子的化学键，形成新的化学键，但远低于高能放射性射线。
北京告诉你等离子体增强化学气象沉积的几个实验。1.微波等离子体增强化学气象沉积金刚石薄膜实验化学气相沉积(CVD)是几种气体（大多数情况下是两种）在高温下发生热化学反应形成固体的反应。由于等离子体具有高能量密度和高浓度的活性离子，高能束表面改性技术设备引起常规化学反应无法或难以实现的物理化学变化。等离子体CVD通过能量激发将工质激发到等离子体状态，引发化学反应形成固体。
然而，高能束表面改性技术设备电离的气体不会不一定非得是等离子体，但等离子体和普通气体都具有满足气态方程等共同特性，但特性完全不同。比氩等离子体和氢等离子体。。等...
