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左起继电器(K1)实现对真空泵的控制 左起第7个中间继电器(K7)实现对高真空气动挡板阀的控制 两者都收到信号后,相应的中间继电器吸合给负载实现控制。为防止真空室因误操作吸油或吸气,需要在K1不工作时,关闭K7中高真空气动挡板阀的控制线K7和L7。将K1的常开触点的另一端的一端和另一端的另一根线连接到K7的原始L7线的连接处。

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气体排放分为直流排放和交流排放。例如,氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子在高频电场作用下处于低压状态,在辉光放电的情况下分解成加速的原子和分子,电子和由此产生的解离点产生了带正电和带负电的原子和分子。以这种方式产生的电子在被电场加速并与周围环境相互作用时获得高能量。分子和原子发生碰撞,结果电子在分子或原子中被激发,产生激发态或离子态。此时物质的存在状态为等离子体状态。

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