废气处理装置 吸收器和吸附器 吸收器吸收法是利用挥发性或非挥发性的溶剂吸收VOCS,特氟龙清洗架利用VOCS与吸收器的物理性质差异,将其分离出来。..含VOCS的气体从吸收塔底部进入塔内,在上升过程中从塔顶与吸收塔逆流接触,精制气体从塔顶排出。吸收了VOCS的吸收塔经过换热器后进入汽提塔上部,在高于吸收温度或低于吸收压力的温度条件下解吸。解吸的吸收剂在溶剂冷凝器中冷凝并返回吸收塔。
Plasma Device 等离子损伤 (PID) 后器件的 NBTI 性能因电荷损伤而降低,特氟龙清洁机并且界面态密度高,可以通过后续退火工艺使其复员,但这些高初始态界面态密度会增加 NBTI 退化。 NBTI 可用作检测等离子设备中潜在等离子损伤 (PID) 的有效手段。金等人。调查了各种退火工艺对 NBTI 的影响,发现等离子设备中的纯 H2 退火有助于改善 NBTI,而不是 N2 / H2 气体混合物。
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