电磁场在石英管中形成,等离子蚀刻设备石英管将氧电离形成氧离子。这是活性(化学)氧原子、氧分子和电子的混合物的等离子体辉光柱。活性(active)氧(active atomic oxygen)将聚酰亚胺薄膜迅速氧化成挥发性气体,通过机械泵抽出,去除硅片上的聚酰亚胺薄膜。等离子脱胶的优点是脱胶操作方便、脱胶效率高、表面清洁光滑、无划痕、成本低、环保。介电等离子蚀刻设备一般采用电容耦合等离子平行板反应器。

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n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中,n11、n2和n3分别表示以下。 n11为C2烃产物中C2H6的摩尔分数,mol/%,n12为C2烃产物中C2H4的摩尔分数,mol/%;n13为C2烃产物中C2H2的摩尔分数,比率为摩尔/%。

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