等离子表面处理机台阶高度对多晶硅栅极蚀刻的影响: 除了等离子表面处理机蚀刻本身对多晶硅栅尺寸的影响外,达因值大表面张力大吗浅沟槽隔离带来的表面形貌起伏(Topography) 也对多晶硅栅尺寸具有明显的影响。(浅沟槽隔离的台阶高度表征了多晶硅生长前的晶片表面形貌。由于炉管多晶硅的平坦化生长,正的台阶高度(浅沟槽隔离氧化硅上表面高于体硅有源区)会导致靠近浅沟槽隔离区的多晶硅变厚,进而影响多晶硅栅的侧壁角度。

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等离子清洗是一种精确的清洗过程,需要进行精确的调整。这假设产品始终是高质量的。一般来说,如果治疗后没有达到预期的效果,那就是等离子清洗机坏了”,而且“脏到可以洗”可能是由于位置操作不当造成的,但主要原因是……是什么?让我简单解释一下!因果关系(1)上次清洗过等离子清洗机的其他产品,清洗瓶没有清洗,但再次清洗后,产品又被污染了! (2)真空室内的产品被污染的原因如下。

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系统标准配件设备尺寸1105W*14880D*1842HMM(信号灯高度2158MM)水平板8层电极板403W*450DMM气体流量控制器,2路工艺气体0-300ML/MIN真空测量日本ULVAV真空计人机界面触摸屏自主研发电极方向距离48MM信号指示器3色带报警重量(设备主机/真空泵)<600KG区域:设备主机1805(W)X1988(D)X1842(H)MMRF供电射频供电频率13.56MHZRF电源 电源 0WRF 电源匹配器 全自动匹配,领先的空气冷凝器技术 设备先决条件 电源:AC380V,50 / 60HZ,3-None Phase线 7.5KVA 压缩空气需要至少每分钟 2 立方米的无水无油 CDA60-90PSIG 排气系统。

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等离子清洗设备材料胶接机参数:序号型号cpc - acpc - bcpc - c1模块尺寸275x110(直径)mm295X150(直径)mm295X150(直径)mm2Hull体积2.6 L5.2 L5.2 l3射频频率40khz40khz13.56 mhz4射频功率10- 200w无极性可调10- 200w无极性可调10- 150w无极性可调电源220v / 60hz220v / 60hz220v / 60hz220v / 60hz6电流流量时间设置1-99分及59秒1-99分及59秒气体稳定时间1-99分及59秒真空在pa1分钟在pa1分钟在pa1分钟在pa10等离子体激发模式电容电容11尺寸L * W * H480 * 450 * 265 mm520 * * 450 * 290 450 * 290 mm520 mm12the weight15Kg20Kg25Kg。