由于等离子体中存在高能电子、离子、原子、自由基等活性粒子,端子等离子体去胶机容易与固体表面发生反应,固体表面受到化学和物理冲击。污染物分子在极短的时间内分解蒸发,在各种高能粒子的撞击下被粉碎并被抽出到真空中,进而发生各种反应。例如,产生的紫外线会发出强光。活力,附着在物体表面的分子键可以被破坏和分解,从而达到分解污染物的目的。
可能有人会问:温度到了几千度,端子等离子体去胶机还是冷的。这时候就要知道颗粒的温度和温度计测得的温度是不一样的。由于此时的气体密度很低,温度计测得的温度与外界环境的温度几乎相同,实际上是低温等离子体。当气体处于高压状态并从外界获得大量能量时,粒子它们之间的碰撞频率明显增加,各种粒子的温度基本相同。即TE与TI、TN基本相同。在这种状态下得到的等离子体称为高温等离子体,太阳本质上是高温等离子体。
由于真空泵的影响,端子等离子体去胶机舱内气压达到5级。 -对于 -10 mTorr,使用高频发生器。由于 的影响,在电极之间产生等离子体,对样品表面进行处理,达到改变表面活性的目的。
目前,端子等离子体去胶机基于碳纳米管的纳米电子器件的研发备受关注,如果能够在低温下现场生产碳纳米管,将纳米电子器件与传统微电子加工技术相结合,将有可能实现超大容量。增加。超大型集成电路。 4. 等离子体增强化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响 氮化硅薄膜是具有优异物理和化学性能的介电薄膜。它具有高密度、高介电常数、优良的绝缘特性和优良的抗NA+。
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当温度足够高时,分子中的原子获得了足够的动能并开始相互分离。分子在加热时分解成原子状态的过程称为离解。当温度进一步升高时,原子外的电子从原子核的结合中释放出来,成为自由电子。失去电子的原子变成带电离子,这个过程称为电离。电离(部分或完全电离)的气体称为等离子体(或等离子体状态)。等离子体是由带正电和带负电的粒子组成的气体。由于正电荷和负电荷的总数相等,等离子体的净电荷等于零。