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聚合物中的聚合物化学键被分离成小分子，附着力最强的胶带是什么这些小分子被汽化并从入口真空泵中排出。同时，经过氩等离子清洗后，可以改变材料表面的微观形貌，使材料在分子范围内粗化，表面活性和结合性能显着提高。氩等离子体的优点是它可以清洁材料表面而不会留下任何氧化物质。缺点是可能会在其他不需要的区域发生过度腐蚀或污染颗粒的重新积累，但这些缺点可以通过微调工艺参数来控制。。
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受电场效果，它们发生磕碰而构成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以损坏几乎一切的化学键，在任何显露的外表引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学功用，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，然后抵达清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满意刻蚀的需求。 运用等离子处理时会宣告辉光，故称之为辉光放电处理。
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