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等离子体应用领域
技术知识
发布时间:2022-04-01 16:23:22
浏览数:507
等离子技术应用领域
①以热等离子体制备乙炔、硝酸、联氨和炭黑等产品。
②用热等离子技术合成高温碳化物、氮化物和硼化物,如碳化钨、氮化钛等。
③用热等离子技术制备超细粉末,如0.01~1μm的三氧化二铝、二氧化硅和氮化硅粉末。
④冷等离子体中的聚合薄膜的形成或清洗,如半导体工业中的氧化硅膜。
⑤在冷等离子体中实现材料表面改性,如离子氮化、渗碳等工艺。
⑥等离子体技术应用于油气田生产,可进行深部解堵。
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