金属电极的设计对等离子清洁功效有显著干扰金属电极的设计对等离子清洁功效有显著干扰，主要包括金属电极的材料、布局和尺寸。对于内金属电极等离子表面处理器，由于金属电极暴露在等离子中，某些材料的金属电极会被某些等离子蚀刻或溅射，引起很多不必要的环境污染，致使金属电极尺寸的变化，从而干扰等离子清洁系统的稳定性。
等离子清洁功效会伴随着输出功率的提升而持续改善，当主要是物理的作用时，应减低压力，提升离子能量。当主要是化学作用时，应提升一些压力，以确保反应的气体的浓度。较小的金属电极间距可以将等离子限制在狭窄的区域，从而获得更高密度的等离子，实现更快的清洁。伴随着间距的提升，清洁速度逐渐减低，但均匀性逐渐增强。金属电极的尺寸通常决定等离子系统的总体容积。金属电极的设计对等离子清洁功效有显著干扰00224818