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(3)由于在真空室内的电极和接地装置之间施加了高频电压，划格子检查油漆附着力气体被分解并通过辉光放电产生电离和等离子体。待处理的工件完全包裹在真空室内产生的等离子体中，开始清洗。通常，清洁过程持续几十秒到几分钟。 (4)清洗后，切断高频电压，排出气体和汽化的污垢，同时将气体吹入真空室，使气压升至1个大气压。。
等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合产生的物质。等离子体清洗蚀刻产生等离子体的装置是在密封的容器中设置两个电极形成电磁场，检查油漆附着力的装置用真空泵实现一定程度的真空，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离越来越长。在磁场作用下，碰撞形成等离子体，同时会产生辉光。等离子体在电磁场中运动，轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和蚀刻的效果。
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2. 等离子体是由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子等组成，表面上看呈电中性，其实内部具有很强的电特性、化学特性和热效应。
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2. 取决于等离子体的状态： (1) 平衡等离子体：具有高气压且电子温度和气体温度大致相等的等离子体。常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。 (2)非平衡等离子体：在低压或常压下，电子温度远高于气体温度。低压直流辉光放电、高频诱导辉光放电、大气压下DBD介质阻挡放电产生的冷等离子体等。。
300年sccm流动。
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