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但是，线缆等离子体刻蚀设备必须在化学回火前进行清洗。如果清洗不成功，会影响产品的质量。传统的清洗方法是先用洗涤剂擦洗，然后用酸、碱液或有机溶剂进行超声波清洗。这个过程复杂、耗时、劳动密集并且造成污染。现在有低温等离子加工工艺。低温等离子体浓缩的离子、电子、激发原子、分子、自由基等都是活性粒子，容易与材料表面发生反应。因此被广泛应用于表面改性、薄膜沉积、刻蚀、器件清洗等领域。

2、低温等离子清洗机的表面活化功能当等离子体与表面接触时，线缆等离子体刻蚀被处理物体或材料表面发生化学变化，表面的物理作用和分子链结构发生变化，羟基和羧基 自由基如已建立。这些组具有以下效果：它有助于各种涂层材料的附着力，并针对附着力和涂装应用进行了优化。 3、低温等离子清洗机的表面刻蚀功能，兼容多种材料，利用相应的气体组合，形成具有强刻蚀特性的气相等离子体。化学反应和物理冲击发生在材料体内。

下抗反射层和硬掩模层的刻蚀工艺中使用的常压等离子清洗机的刻蚀气体为CF4、CHF3、O2等氟气和氧气的组合，线缆等离子体刻蚀一起完成刻蚀。有机抗反射涂层和硬掩模层。由于硬掩模层通常是氧化硅材料，CF4 和 CHF3 的同时蚀刻会产生一种聚合物，这种聚合物会积聚在保护层和层间介电层的侧壁上。随着聚合物沉积在侧壁上，随后的主蚀刻将这种异常图案转移到通孔底部，形成一种从通孔顶部到底部的条纹。

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