P是占比成效，如何提高PI薄膜附着力I是積分成效，D是求微分成效。 PID不光具有快速快速的占比成效，而且还具有積分成效的差错清除及其求微分成效的高級调整作用。 当出現差错阶跃时，导函数将马上起成效以抑止这类差错弹跳； 该占比还具有清除差错和削减差错力度的成效。 由于占比效用是长久且占主导性的操控规律性，因此可以使内腔的真空度更为平稳； 積分成效渐渐摆脱了差错。
这种用于等离子清洁器表面处理机的低温蚀刻方法源于蚀刻高纵横比硅结构的需要，PI薄膜附着力问题主要用于形成非常高纵横比的硅材料结构。这种结构广泛用于微机电系统（MEMS）的前端工艺和后端封装的硅通孔（TSV）。近年来研究表明，等离子清洗机表面处理机的低温等离子刻蚀不仅可以形成所需的特殊材料结构，而且可以减少刻蚀过程中的等离子损伤（plasma-induced damage，PID）。
在FN电流的作用下，如何提高PI薄膜附着力栅氧化层和界面都会产生缺陷，产生的损伤会引起IC成品率降低，并会加速热载流子退化和TDDB效应，引起器件长期可靠性问题。在集成电路制造技术中，充电效应引起的栅氧化层退化是一个严重的问题。 引起PID的机理主要有以下几种： (1)等离子体密度。高的等离子体密度意味着更大的电流在充电导致损伤的模型下，更高的等离子体密度更容易引起PID问题。
独特的表面特性，pi薄膜附着力例如改进的材料表面润湿性和薄膜附着力，在许多应用中都很重要。等离子清洗后，设备表面干燥，无需后退，提高了整条工艺线的加工效率。它使操作员远离有害溶剂造成的损害。等离子可以深入渗透。由于清洁是通过放入物体的小孔或凹痕中完成的，因此无需过多考虑物体的形状，可用于各种材料，尤...
此外，PI薄膜附着力差经PIII处理的LTI碳材料的生物相容性得到了很大改善，体内植入后LTI碳材料的血小板密度显著降低。可能是注氮后CN表层的形成所致。直到现在，这些宝贵的材料还没有在常规手术中使用，因为有很多障碍。例如，法律规定:&ldquo；一种新的合成材料在植入人体之前，需要经过漫长的测试和...
PI 膜等离子清洗是一种高效、环保的清洗技术，在 FPC 柔性电路板应用中具有重要作用。它可以有效去除 PI 膜表面的污染物和残留物，提高 PI 膜的表面性能，从而提高 FPC 柔性电路板的性能和可靠性。...
初始阶段用高纯N2产生等离子体，pi膜附着力 促进剂同时预热印版，使高分子材料处于一定的活化状态；第二阶段以O2和CF4为原料气，混合后产生O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4和玻璃纤维反应净化钻井污垢；第三阶段以O2为原始气体，产生的等离子体和反应残留物使孔壁清洁。除等离子体化学反应外，等离子体...
高纯N2用于产生等离子体，对pi附着力好的树脂同时预热印张以在特定的第二阶段激活聚合物材料，其中O2和CF4作为原始气体，混合后产生O，F等离子体并与丙烯酸反应、PI、FR4、玻璃纤维等达到净化效果。第三阶段以O2为原气，O和F为残余反应，保持孔壁清洁。除等离子体化学反应外，清洗过程还涉及与材料表面...
