(2)引线键合:引线键合的产品质量对集成电路工艺的稳定性有关键性危害,附着力和温度关系键合区必需无污染物质并有着优良的引线键合特征。污染物质的诞生,如氧化物质、有机化学污染物质等都是会明显消弱引线键合的抗拉力值。等离子清洗机能有效的清除键合区的表层污染物质并使其表面粗糙度提升,能大幅提升引线的引线键合抗拉力,的提升封裝电子器件的稳定性。
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