(B)激发（活化）键能和交联函数等离子体表面清洗机中粒子的能量为0～20eV，油漆附着力合格范围聚合物中大部分键为0～10eV。等离子体在物质外部使用后，覆盖在物质外部的化学键可以断裂，等离子体中官能团中的这些键形成网络交联结构，极大地激发（激活）了表面活性。
业界以线条末端蚀刻前后特征尺寸差异与线条中央的等离子表面处理机蚀刻前后特征尺寸差异的比值来评估蚀刻工艺对线条末端图形的控制精度，油漆附着力合格范围称之为线条末端回缩(Line End Shortness，LES)。 一般情况下，线条末端的回缩越小越好，说明线条末端的图形失真控制在小的范围内。众所周知，多晶硅栅线条跨过有源区，形成器件。
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一、真空等离子清洗机处理产品或材料的反应机制 真空等离子清洗机处理产品是在低压反应腔室里面进行的，表面微弧氧化后油漆附着力基本操作流程把需要处理的物件放在托架或者是电极上面，关上反应腔体室的门;然后抽真空至设定的背底真空值，通入相应的工艺气体并维持真空度在20- Pa范围;接下来启动电源...
