在(PCB)印制电路板特别是高密度互连(HDI)板的制作中,需要进行孔金属化过程,使层与层之间通过金属化的孔实现电气导通。激光孔或者机械孔因为在钻孔过程中存在着局部高温,使得在钻孔后往往有残留的胶状物质附在孔内。为防止后续金属化过程出现质量问题,金属化过程之前必须将其除去。目前除钻污过程主要有高锰酸钾法等湿工序,由于药液进入孔内有难度,其除钻污效果具有局限性。plasma等离子清洗作为一种干工序很好了解决了这个难题。plasma等离子清洗机的工作原理
等离子体又称物质的第四态,它是一种整体呈电中性的电离体。等离子气体的生成必须具有以下几个条件:具有一定的真空度(26.66~66.66)Pa;在保持一定真空度下通入所选气体;开启射频电源,向真空器内电极施加高压电场,使气体在两电极之间电离,放出辉光,形成等离子体。
在(PCB)印制电路板中等离子清洗过程主要分为三个阶段。第一阶段为产生的含自由基、电子、分子等离子体,形成的气相物质被吸附在钻污固体表面的过程;第二阶段为被吸附的基团与钻污固体表面分子反应生成分子产物以及随后所生成的分子产物解析形成气相的反应过程;第三阶段为与等离子体反应后的反应残余物的脱离过程。
plasma等离子清洗在(PCB)印制电路板清洗的作用
plasma等离子清洗去除残留污染物
等离子...