提高复合材料的表面涂层性能:复合材料的成型过程需要使用脱模剂，有机硅表面附着力以保证固化后能有效地与模具分离。然而，使用脱模剂难免会使复合材料膜表面残留过量脱模剂，造成待涂表面的污染，界面层薄弱，使涂层在涂装后容易脱落。传统的清洗方法是用丙酮等有机(机)溶剂擦拭表面或打磨后清洗表面，以去除残留在复合件表面的脱模剂。
首先，对有机硅表面的附着力真空泵开始抽吸等离子清洗室内的空气，在等离子清洗室内形成真空环境。随着气体越来越稀薄，分子内力越来越小，分子间距和分子或离子的自由运动距离越来越长。接下来，打开氩气控制阀并用氩气填充等离子清洗室。整个等离子清洗室充入氩气，电极通电，氩气在电场作用下碰撞，形成等离子分解离子。由氩等离子体产生的离子以足够的能量与芯片表面碰撞，从而与有机和颗粒污染物发生反应或碰撞，从而形成去除表面的挥发性物质。
多系统技术可用于防止容易发生的半导体特性的电气损坏和静电问题。此外，对有机硅表面的附着力由于可以根据硅晶片的尺寸产生大气压等离子体，因此即使是最小的等离子体也可以使用。。一般来说，等离子清洗机的清洗过程可以分为两个过程。一般来说，等离子清洗机的清洗过程可以分为两个过程。过程 1 是首先使用等离子体原理去除有机物。当O在激活气体分子后使用时，O3通过与有机物反应达到去除有机物的目的。
表面清洁的解决方法，有机硅表面附着力采用射频电源，在真空等离子体空腔中产生高能、无序等离子体，借助等离子轰击被清理的设备表面，使表面的污染物从设备上脱落，从而达到清理目的。另外，还有一些特殊气体，如四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)等，这些气体...
