因此，特氟龙等离子体表面处理设备最初，到达绝缘体表面的电子数大于离子数。除部分复合外，电子过剩，绝缘体表面呈负电位。反对等离子。这种负电位排斥电子并吸引正离子。这个电势也随之变化，当绝缘体表面的负电势达到一定值时，离子和电子的电流变相等，成为绝缘体表面的电势。工件趋于稳定，这意味着放置在等离子体中的绝缘体称为浮动基板，其表面形成的稳定电位称为浮动电位。
例如，特氟龙等离子体表面处理设备可用作电子束提取窗、高频大功率电子器件、高灵敏度弹性表面波滤波器、切削工具等。
在 250-800 NM 波长范围内，特氟龙等离子刻蚀机甲烷转化过程中产生的主要活性物种。等离子体的作用是 CH（430.1 至438.7 NM）、C（563.2 NM、589.1 NM）、C2（512.9 NM、516.5 NM）和 H（434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM）。在等离子体放电区，首先产生高能电子。
此外，特氟龙等离子刻蚀机长期使用时，表面易氧化，电阻增大，电极层间温差增大，放电变得不稳定。电极的不良放电也可能是由于电极表面的污染。主要原因是，根据被加工材料的不同，真空泵不会喷出少量材料而粘附在电极表面上。如果不能定期清除，随着时间的推移，材料会更容易堆积。被污染物堵塞。如果板体绝缘层的表面形状被污垢堵塞，就相当于增加了电极容量，增加了放电功率。如果电极表面被粉末或碳等污垢堵塞，电极容量会降低。
特氟龙等离子刻蚀机
等离子体振荡是指等离子体中的电子由于惯性和离子静电而发生的简单振动。离子，也称为等离子体，被认为是物质或超气体的第四种形式。也就是说，它由电离的气体、电子和非电离的中性粒子组成，整体呈电中性。通过等离子体表面处理产生的等离子体不必完全由离子组成。等离子表面处理器中的等离子需要不凝聚，组成等离子的粒子非常自由，粒子之间的相互作用很弱。凝聚态是由大量粒子组成的聚集态，液体和固体都是很常见的凝聚态。
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