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微波等离子体中的反应颗粒数远大于RF等离子体表面处理仪中的反应等离子体数，附着力试验有什么方法会使反应速度更快，反应时间更短。其次，等离子的自然特性之一是能够直接暴露在等离子体上产生自偏压。这种自偏压取决于等离子的激励频率。例如，频率为2.45GHz的微波通常只需要5.15伏。同样，RF等离子体表面处理仪自偏压需要 伏。
低温等离子表面处理机采用能量转换技术，附着力试验有什么方法在恒定真空负压下，通过电能将气体转化为高活性气体等离子体。气体等离子体温和地清洁固体样品的表面并改变其分子结构。实现了对样品表面有机污染物的超清洗，有机污染物通过真空泵在极短的时间内排出，清洗能力可达分子水平。在某些条件下，样品的表面性质也会发生变化。
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在等离子体化学反应过程中，等离子体转移化学能过程中的能量转移大致如下：（1）电场+电子→高能电子（2）高能电子+分子（或原子）→（受激原子、受激基团、游离基团）活性基团（3）活性基团+分子（原子）→产物+热（4）活性基团+活性基团→产物+热量从上述过程可以看出，电子首先从电场中获得能量，并通过激发或电离将能量传递给分子或原子。得到能量的分子或原子被激发，一些分子同时被电离，从而成为活性基团。
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