这些都会导致电路的长期可靠性得不到保证。等离子体是由正离子、负离子、自由电子等带电粒子和激发态分子、自由基等不带电中性粒子组成的部分电离气体。因为它的正负电荷总是相等，烟台免电晕处理油墨价格所以叫等离子体。一些非聚合无机气体(Ar、N2、O2等）在高频低压下激发产生含有离子、激发分子和自由基的等离子体。通过等离子体轰击，可以解吸衬底和芯片表面的污染物，有效去除键合区的污染物，提高键合区表面的化学能和润湿性。
等离子体作用于材料表面，电晕处理机静电消除机使表面分子的化学键重新结合，形成新的表面特性。对于一些特殊材料，等离子清洗机的辉光放电不仅增强了这些材料在超级清洗过程中的附着力、相容性和润湿性。等离子体清洗机广泛应用于光学、光电子、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。。
处于等离子体状态的物质有以下几种：高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；未反应的分子、原子等，电晕处理机静电消除机但物质作为一个整体保持电中性。在真空室内通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等体子体轰击被清洗产品表面，达到清洗的目的。
不同等离子体的自偏压不同，烟台免电晕处理油墨价格超声等离子体的自偏压在0V左右，射频等离子体的自偏压在250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，三种等离子体的机理不同。超声等离子体的反应是物理反应，射频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。超声等离子体清洗对被清洗表面影响较大，因此在实际半导体生产应用中多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。
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材料需要活化（化学），改性材料需要用13.56MHz或20 MHz等离子体清洗，40kHz的自偏压约为1000伏，13.56MHz的自偏压约为250V，20 MHz的自偏压更低，这三种不同激发速率的体系是不同的。
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