没有进行处理的ITO表面形貌与等离子体处理后的ITO表面形貌分析发现，北京加工等离子清洗机腔体优质服务ITO表面的平均粗造度和峰谷距离均有明显降低，其表面颗粒半径也降低不少。平均粗糙度和表面颗粒半径的减小使得ITO与有机层的接触面增大，有利于氧原子附着。
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C2烃收率随放电间距增大略成峰型变化，北京加工等离子清洗机腔体优质服务在放电间距为10 mm时，C2烃收率较高，为12.7%；除放电间距8 mm 时，CO收率较低(31.3%)之外，当放电间距在8~16 mm变化时，CO收率为36%左右。
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