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这种温度上的限制不仅表现在相应材料的蚀刻配方的温度窗口缩小，还表现在低温形成的硬掩膜材料的蚀刻抗性一般较低。 因此磁隧道结等离子清洗机蚀刻中以IBE为代表的无腐蚀副作用的离子铣削工艺始终占有一席之地。其面临的问题在于蚀刻过程中被剥离的金属材料可能会重新沉积在侧壁，后续清洗工艺很难去除的情况下，器件性能会大受影响；如果沉积在隧道势垒层侧壁，会直接引起短路。
..常用来改善材料表面性能的表面技术包括表面涂层技术中的电镀、热喷涂、胶合、涂层等。表面改性技术中的喷涂强化、表面热处理、化学热处理等，以及两种或两种以上表面技术的组合技术。热喷涂技术耐磨、耐腐蚀。在金属材料表面喷涂耐热陶瓷材料，使其与金属材料牢固结合。一种耐磨、耐腐蚀、耐高温的陶瓷材料与金属材料的高强度、韧性、切削加工性和导电/导热性能有机结合，两种材料的综合优点就足够了。到。
由这种材料制成的设备经过等离子处理，然后涂上摩擦系数低的聚合物，从而形成更光滑的表面。例如，等离子体表面改性可以提高水凝胶涂层对医用导管表面的附着力，水凝胶涂层可以降低医用导管与血管内壁之间的摩擦力。输液导尿管、呼吸气管和心血管，或内窥镜/腹腔镜手术器械，眼科材料等接触流体，防止其粘附在这些光滑的医疗器械表面，接触时表面应具有良好的滑动性能。电离的等离子体反应性气体可以抑制这种低摩擦系数材料表面的形成。
腐蚀性能使得先进陶瓷材料迅速得到广泛应用。金属陶瓷材料和高分子聚合物材料是。固体工程材料的三大类。陶器的原料是金属。含有非金属元素的晶体或非晶体化合物是分离子、共价键结构键能、原子之间有很强的结点。无自由电子共同运动，表面自由能低于原子。堆叠的密度间隔较小。优异性能：热膨胀系数小，热导率低，摩擦系数小。无延展性，硬度高，熔点高，绝缘性能好，保温性能好。良好的学习稳定性。但是，陶瓷材料的塑性变形能力较弱。
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