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除了气体分子、离子和电子之外，冷等离子体还具有电中性原子或原子团。除了气体分子、离子和电子外，还有低温下的电中性原子或氧自由基。 -温度等离子体氧自由基在冷等离子体中起着重要作用，因为它们是电中性的，存在时间长，并且比冷等离子体离子更丰富。自由基的作用主要是在化学反应过程中“激活”能量转移。被激发的氧自由基具有很高的能量，这使得它们更容易与物体的表面分子和新的氧结合。产生自由基并形成新的氧自由基。
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有机有机接枝物在金属等离子体表面的接枝或聚合物表面的金属化都涉及到聚合物与金属的粘附问题。Zhang等人对PTFE(PTFE)与金属铝的粘附进行了研究。首先用氩等离子体(频率40kHz，功率35W，氩压强80Pa)对PTFE进行预处理。
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