在等离子体和容器壁之间的非电中性区域通常称作等离子体鞘层,它是等离子体中一个很重要而特殊的区域等离子体是由数量相等的正离子和电子组成,由于电子比离子速度快而先到达容器壁,因而等离子体相对器壁呈i正电性.鞘层电场可以对等离子体内的离子加速,使离子具有很高的能量,利用这个高能离子流可以实现镀膜、刻蚀以及溅射等自从1929年LangmuirL3提出了等离子体鞘层的概念以来,等离子体鞘层的物理特性就一-直是个热点研究问题.鞘层的特性不仅取决于等离子体参量,也与容器壁性质有关.金属表面的鞘层比电介质表面的鞘层具有更宽的范围,特别是不同介电常数、不规则形状物体表面的。
等离子清洗剂处理可以选择性地改变表面的化学和物理特性，贵州等离子体除胶机价格而不影响器件的整体特性。例如，微生物聚合物的等离子体表面处理可以在不改变聚合物表面粗糙度的情况下引入官能团，引起接枝聚合，提高涂层附着力并形成分子交联。钛装置的等离子处理提供了表面清洁和消毒，并为随后的等离子聚合提供了良好的起点。用等离子清洁剂处理的钛表面可以显着提高细胞粘附性并提高可植入生物材料的生物相容性。
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常用的清洗气体是PFCs和SF6等含F气体，可作为等离子体发生气体用来清洗CVD腔室壁上的Sio2或Si3N4。再循环过程中，FFC在等离子体作用下分解出的F原子能刻蚀掉电极、腔室壁上的残留物，以及腔内五金器件上的残留物。在等离子清洗机清洗的过程中，有相当一部分腔室内的FFC并没有离解为活性F原子。除非采用减少排放技术，不然这部分未反应的含F气体将流入大气层。
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