等离子清洗机不发光不（启）辉光的可能原因及其解决办法辉光放电是放电等离子体中最常见的一种放电形式，同时辉光放电也是放电形式中放电最稳定的放电形式。等离子清洗机是在低气压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团（Radicals）。在使用等离子清洗机的过程中，客户可能会碰到设备不发光，或者无法启辉的情况出现。下面就为大家提供一些建议，在碰到等离子清洗机不发光时的自检思路与解决方法。
等离子清洗机无法起辉原因和处理措施：
（1）射频电源故障，检查射频源电源功率输出是否正常。
（2）反应气体进气量小，检查气体流量计是否正常。若正常，则加大进气量进行试验。
（3）腔体极板清洁度不够，用万用表测量腔体上下极板的对地电阻，正常值应在数十兆欧以上；若异常，则清洁腔体极板。
（4）匹配偏差太大，可以通过自动匹配进行调节。如不能进行自动调节，则可能是电机卡住，匹配电容变形，或者联轴器松动，需做故障相应维修。
（5）真空度太差，检查腔体真空度是否正常。
等离子清洗机辉光不稳
（1）电源电流不稳，测量电源供电是否稳定
（2）真空室压力不稳定，检查腔体真空系统漏率是否正常，检查腔体进气量是否正常。
（3）电缆故障，检查电缆接触是否良好。等离子清洗机不发光不（启）辉光的可能原因及其解决办法002246542465424654