即2DEG的密度在负工作电压的影响下逐渐增加，表面改性与提高结晶性能当负电压达到一定值时，导带增加。 GaN的带边逐渐增大，GaN的导带边高于费米能级。换句话说，这个工作电压被称为读取工作电压，因为2DEG耗尽并且HEMT沟道电流几乎为零。在AlGaN表面上未经等离子体处理的样品A和经氧等离子体处理的样品B中，未经氧等离子体处理的样品A的Vgs = 2V，在Vds = 10V时的饱和流量增加如下。
在这个过程中，表面改性与提高结晶性能当活性粒子撞击材料表面时，分子之间的化学键打开，产生大量的氧自由基。这种氧自由基的作用是使材料表面的能量更大。简单来说，就是使材料表面更干净。3)表面材料被清洁后，其氧自由基可以更好地与活性颗粒融合，然后表面材料被引入极性基因。
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因此,设备的单位成本不高,清洗过程不需要使用昂贵的有机溶剂,总体成本低于传统湿法净化technologyG)等离子体等离子清洗的使用,不使用清洁的液体,降低了运输成本,存储和放电,h)等离子清洗可处理各种材料，聚四氟乙烯表面改性研究包括金属、半导体、氧化物、高分子材料(聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等分子材料)。因此，非常适合清洗不耐热、不耐溶剂的材料表面。
表面改性与提高结晶性能
曲轴油封是发动机在高温下与油接触的部件之一，因此需要使用耐热性和耐油性优良的材料。目前，豪华车普遍采用PTFE材料，但随着汽车对性能要求的不断提高，越来越多的厂家在使用这种材料，其应用前景十分广阔。聚四氟乙烯材料在耐高温、耐腐蚀、不粘连性、自润滑性、优异的介电性能、低摩擦系数等各方面都表现出优异的性能，但未经处理的聚四氟乙烯材料表面活性较低。材质接近金属，粘接非常困难，不符合质量要求。
(B) 等离子体处理法此处理方法为干法制程，操作简、处理质量稳定且可靠，适合于批量化生产。而化学处理法的钠萘处理液来讲，其难于合成、毒性大，且保质期较短，需根据生产情况进行配制，对安全要求很高。因此，目前对于聚四氟乙烯表面的活化处理，大多采用等离子体处理法进行，操作方便，还明显减少了废水处理。。
在线等离子清洗设备，是在成熟的在线等离子清洗机制造技术和设备的基础上，增加了上下料、物料输送等自动化功能，大大提高了清洗性能的同时，避免人为因素和长时间接触造成的二次污染和腔体姿势批量清洗时间可能造成芯片损坏。反应室中的颗粒具有活性强、温度低、自由度长等优点。与常规等离子清洗相比，更适合加工精密零件，清洗效果更干净、彻底，大大提高了工业生产中的清洗性能和效率。
9、清洗和去污可同时进行，提高材料本身的表面性能。它对于许多应用非常重要，例如提高表面的润湿性和提高薄膜的附着力。在等离子清洗应用越来越广泛的今天，国内外用户对等离子清洗技术的要求也越来越高。好的产品也需要专业的技术支持和维护。。与传统洗衣机不同，等离子洗衣机使用的耗材是干洗。常用的工艺气体有氧气（oxygen，O2）、氩气（argon，Ar）和氮气（nitrogen，N2）。
聚四氟乙烯表面改性研究
多晶硅栅图形作为控制沟道长度的重要工艺，表面改性与提高结晶性能与器件性能密切相关，影响着全身。摩尔定律将黄光图案化技术从248NM波长的光源工艺提升到193NM波长的光源工艺。通过这一转变，我们在 2012 年成功实现了 30NM 的图形分辨率。但是，193NM光刻胶的化学成分与248NM光刻胶有很大不同，在恶劣的等离子体环境下其抗蚀刻性较差。减少需要用于保护曝光工艺窗口的 193NM 光刻胶的厚度。
不同的等离子体气氛对高分子材料的表面处理有不同的影响，表面改性与提高结晶性能处理后的时效也不同。韩国的Kim等人使用氩氧混合等离子体治疗LDPE[17]。研究结果表明，等离子体处理效果和处理后的时效与氩氧比有关。当氩氧体积比为9∶1时，处理效果最好，时效最不显著。由于氩气是惰性气体，它很容易被激发到亚稳态，通过penning电离使氧电离。
