等离子腔体、控制设备、13.56MHz的等离子发生器。自动匹配网络都安装在底盘上，底盘装甲的附着力一个连锁的门和面板提供了维护通道。等离子腔体由耐用的高品质铝做成的，并且带有铝支架。腔体里有最多达7个可移动的、可调整的电源极或接地极支架，以适应更款范围的器件、组件或工装Magazines、Trays或Boats。
JL-035 台式紧凑型等离子处理设备JL-035是专为均匀清洗和处理而设计的等离子设备，底盘装甲的附着力具有操作简单、可靠性高、成本低等优点。 AP-300 是一个完全独立的系统，只需要很少的空间。等离子室、控制器、13.56MHz 等离子发生器。自动匹配网络安装在底盘上，联锁门和面板提供维护通道。等离子室由耐用的优质铝制成配有铝制支架。
等离子发生器喷嘴与底盘之间的布线要合适，底盘装甲对白铁皮的附着力角度应弯曲超过 90 度。 6.注意电缆的保护，并确保尖锐的物体不会切割电缆的硅。 7.在恶劣环境下，每6个月用毛刷清除（清除）机箱内风扇、高压变压器等表面灰尘，每月清除（清除）表面灰尘。 8.不要在含有易燃易爆物质的蒸汽环镜上使用。 9.不要接触喷射等离子体的火焰。十。喷使用从头部中央橙黄色范围内，距喷嘴3.5mm至8mm处喷射的低温等离子火焰。。
给电子加上能量，底盘装甲的附着力一种简单的方法是利用平行板电极已经流过的电压，电子在电极上，会被带正电的电极吸引而加速，在加速过程中电子可以积累能量，当一个电子的能量达到一定程度时，具有电离气体原子的能力，能产生高密度等离子体的方法有很多种。等离子清洗机与工业清洗和各种工业活动密切相关，其中有些是产品生产过程中不可分割的一部分。不提供清洁产品。它是许多工业过程的一部分。工艺或辅助活动在一些传统行业。
底盘装甲对白铁皮的附着力
等离子设备非常适合一般的晶圆前和后端封装工艺，以及晶圆扇出、晶圆级封装、3D 封装、倒装芯片和传统封装。型腔规划和操作结构以低开销提供低等离子循环时间，确保生产过程的吞吐量并降低成本。等离子清洗机支持直径从 75 毫米到 300 毫米的圆形或方形晶圆/基板规模的自动化处理和处理。此外，根据晶片的厚度，可以使用或不使用载片进行处理。等离子室设计提供了出色的蚀刻均匀性和工艺再现性。
在等离子清洗机设计中，为了将回路中的高频电流控制在合理范围内，高频发生器的输出阻抗常设计为纯电阻，电阻值一般为50Ω。高频放电阻抗一般为容抗，但由于等离子处理装置的反应室内放电条件的变化，高频放电阻抗的值会发生变化，所以将匹配网络和放电阻抗相加相加。后部模拟负载阻抗与高频发生器的输出阻抗相匹配，实现匹配。。
积碳量的增加会直接影响CH4的转化率，严重时反应无法继续进行。。电极间距对大气压低温等离子体脉冲峰值电压的影响；常压低温等离子体脉冲峰值电压的影响；当脉冲峰值电压在12～16kV范围内变化时，甲烷转化率随脉冲峰值电压的增加而明显增加。这是因为峰值电压反映了注入反应器的能量，相当于增加了常压低温等离子体中高能电子的能量和数量，有利于甲烷的活化转化。
在边界层中，聚合物链和键层与无机金纳米粒子形成相互作用，电晕电阻略弱于键层。松散层是与边界层相互作用较弱的第一层表面，其电晕电阻较弱。
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