高能电子衍射(RHEED)分析表明,划格法 测附着力等离子体处理的SiC表面比传统湿法处理的SiC表面更平坦,表面出现(1×1)结构。等离子体清洗机等离子体氢处理可有效去除表面碳污染,暴露在空气中30分钟后发现,等离子体处理后的SiC表面氧含量明显低于传统湿法清洗的表面,等离子体处理后的表面抗氧化性明显提高,为制造欧姆接触、低界面态的MOS器件奠定了良好基础。。
整个清洗过程可在几分钟内完成,漆膜附着力划格法 判定因此具有收率高的特点;等离子体清洗需要控制真空度在Pa左右,这种清洗条件很容易达到。
1.拆下排气阀座盖,划格法 测附着力折叠强力盖螺丝取下盖,注意不要损坏密封圈。 2.拆卸平板电脑的排气阀压板。 3. 拆下排气阀。拆卸真空等离子表面处理机的真空泵转子。 1.拆下转子固定螺钉。 2.取下小螺帽,同时检查小螺帽是否磨损。 3. 拆卸二级转子。检查缸腔和二级旋片是否磨损,检查油路是否堵塞。拆下真空等离子表面处理机真空泵的止回阀。 1.拆下真空泵进气口的固定螺丝,取出进气口,注意不要损坏密封圈。
等离子体技术应用的优点(传统的工艺相比较): 1 不会改变基体固有性能,划格法 测附着力改性作用仅仅发生在表面,约几到几十个纳(米)。如半导体纳(米)蚀刻。 2 全程干燥的处理方式(干式法) ,无需溶解剂和水,几乎不产生污染,因而节约能源,降(低)成本。 3 作用时间短,反应速率高,加工对象广,能显著提高产品质量。 4 工艺简单、操作方便,生产可控性强,产品一致性好。 5 属于健康型工艺,对操作人员身体无伤害。
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与传统燃烧技术相比,等离子处理技术具有环保、处理彻底、无二次污染、低碳排放等特点。它是一种能彻底吹除各种有毒有毒物质,有效去除污染,可广泛应用的新技术。。等离子清洗机用途广泛。在手机行业、喷涂行业、橡塑行业,在喷涂前采用等离子表面活化处理,以提高产品的表面清洁度和表面活性,在大气压下受到高压激发,点燃等离子。等离子体在压缩空气的帮助下从喷嘴喷出。
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