B.将样品放入舱内;关闭三通阀(向下箭头);D.将清洗机的门靠近真空室;打开真空泵的电源开关，连接器等离子体刻蚀设备等待几分钟排出舱内的空气，然后关闭清洗机门。B、抽吸ona，打开三通阀与室内空气连接，(杠杆指向针阀);B、轻轻打开针阀，让空气进入清洗机舱内。(针阀先关闭)等离子formationA。打开等离子清洗机前方控制面板的电源开关;B、使用射频开关，选择合适的射频频率;透过等离子体侧面或上方的小孔看，直到你看到辉光。
如果电源故障，连接器等离子体刻蚀设备请检查等离子清洗机尾部电源侧安全箱内的保险丝1。将真空探头和延长管部件缠绕在生活带上，然后连接到三通连接阀上。3.将整个管道部件与舱口门连接。盖上空腔尾部的真空软管，锁紧真空软管与空腔的连接处。三通阀指向关闭状态(箭头向下)，此时一般抽真空。
将真空泵电磁线圈的接触点与断开的接触点连接，连接器等离子体清洗仪从而控制真空泵电机三相电源的接触点。
真空等离子设备真空泵倒计时故障:如出现故障，连接器等离子体清洗仪请先检查真空泵的抽真空能力，排除故障后再按复位键。物料泄漏和真空门关闭会影响真空泵的抽真空能力。另外，逐个检查等离子真空处理系统中的各个节点，看是否有连接不良或管道损坏的情况。CDA压力过低报警:该报警又称低破断压力报警，是由于压缩空气压力不足引起的，主要发生在配备高真空气动挡板阀的等离子加工设备上。如果出现此告警，需要检查CDA是否能正常给设备送风。
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用六角扳手旋紧油塞，注意:更换时请注纯专用油;真空泵使用原装油把一个干净的,员工应戴橡胶手套和面具当改变石油;请妥善处理废油和安全;真空泵排气口连接与油雾过滤器,油雾过滤器可以除去90%以上的真空泵油雾排放,可以防止污染的工作环境,而且还能起到降噪的效果。过滤后的油应从回油口排出，否则油会积聚在滤芯与机体之间，导致油雾的产生。建议每三个月更换一次滤芯。2、如无排气，检查滤芯是否堵塞，必要时考虑更换滤芯。
用Z类推后，根据两端的位置绘制剩余电阻．六、几何变形法几何变形法是根据电路中导线可以任意伸长、缩短、旋转或平移的特性，给定电路进行几何变形，进一步确定电路各元件的连接，绘制等效电路图。七、除阻法根据串联和并联电路的特点,串联电路,如果任何电阻被删除,没有电流通过电阻,这些电阻串联连接在一起,在并联电路中,如果删除任何电阻和电流流过,并行连接。
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