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一方面，电子束表面改性的研究进展气体的分子结合被打开，产生几个单分子和固体颗粒。哦，过氧化氢。高能电子在这个过程中起决定性作用，离子的热运动只有副作用。在常压下，气体放电产生的高度非平衡等离子体的电子热层远高于气体温度（室温约 ℃）。非平衡等离子体可以发生不同类型的化学反应，主要由电子平均能量、电子密度、气体温度、有害气体分子浓度和≥气体成分决定。
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。辉光放电也是低温等离子清洗技术的1种方式： 低温等离子通常被简单地定义为部分电离的气体，它由激发原子和分子、正负离子、自由基、电子、光子等组成，整体表现为电中性。等离子通常分为平衡状态等离子和非平衡状态等离子。平衡状态等离子也被称为热等离子，其特征是所有的内部粒子都做到了热平衡状态。事实上，为了使电子、离子和原子做到热平衡，它必须有非常高的压力和温度。热等离子的典型例子是恒星。
3.气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键。
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该研究过程有望突破热等离子体工艺或能耗高、产品均匀性低、生产稳定性不足的技术瓶颈，实现石墨烯材料的大规模连续生产。石墨烯是一种从石墨中分离出来的二维碳纳米材料。它具有优良的光学、电学、机械、热学和生化性能，被认为是未来革命性的功能材料。然而，由于缺乏成熟的理论体系，对石墨烯制备技术的研究虽时有进展，但仍难以实现大规模、稳定的制备，制约了其产业化发展。
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