作为一种替代工艺，硅片清洗工艺原理及现状清洗工艺不可避免地需要后续的干燥工序（ODS清洗不需要干燥，但会污染大气中的臭氧层，目前限制使用）和废水处理。更高的劳动保护投入，特别是电子组装技术和精密机械制造的进一步发展，对清洁技术提出了越来越高的要求。环境污染防治也增加了湿法清洁的成本。相对而言，干洗在这些方面具有显着优势，尤其是以等离子清洗技术为主的清洗技术，已逐渐应用于半导体、电子组装、精密机械等行业。
.三分之一的微电子器件采用等离子技术，硅片清洗工艺原理及现状90%的高分子材料需要低温等离子清洗和等离子表面处理。科学家预测，低温等离子体科学技术将在21世纪取得突破。低温等离子清洗机、等离子处理器和等离子表面处理设备与半导体行业、聚合物薄膜、生命科学、等离子成分和传统工艺相比，正在其他类别发生革命性变化。一家集设计、研发、制造、销售、售后为一体的等离子系统解决方案供应商。
3.氢气：氢气可用于去除金属表面的氧化物。它通常与氩气混合以提高其去除污垢的能力。人们普遍关心氢气的可燃性以及氢气用于储氢的用途。氢气发生器可用于从水中产生氢...
