由于这些气体长期存在于大气中，怎么活化二氧化硅表面羟基会大大助长全球变暖，且其热量比二氧化碳高出4个数量级，环保组织从1994年开始研发减少这些气体排放的技术。氮对温室效应的影响很小，可以替代上述含F气体。半导体行业的另一个生产步骤是使用等离子清洁剂来清洁硅胶片上组件表面上由光敏有机材料制成的光刻胶。在沉淀过程开始之前，必须除去残留的光刻胶。脱胶使用热硫酸和过氧化氢溶液或其他有毒有机溶剂，会导致环境问题。
例如，怎么活化二氧化硅表面羟基慵懒气体Ar2、N2 等被激起发生的等离子体首要用于物理清洗，凭借炮击效果使资料外表清洁；而反响性气体O2、H2 等被激起发生的等离子体则首要用于化学清洗，凭借活泼自由基与污染物（多为碳氢化合物）发生化学反响，发生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，从资料外表移除。 （3）等离子体清洗类型对清洗效果具有必定的影响。
在等离子体催化 CO2 氧化从 CH4 到 C2 烃的同时活化中，怎么活化二氧化硅表面羟基甲烷的 CH 键被认为主要通过以下途径裂解。 1. CH4与高能电子的非弹性碰撞； 2．活性氧对 CH4 的降解； 3.催化分子对 CH4 的吸附会激活 CH 键并使其断裂。二氧化碳的转化路线如下。
真空等离子清洗机的气管要怎么选配？（1）会根据处理对象的不同进行适当的选配.（2）了解处理工艺，怎么活化二氧化硅表面羟基采用工艺气体不一样也会影响气管的选用.常见的塑料气管按材质的不同又可以分为是PU管和PTFE管，在工业领域应用中，大多都是采用PU管，尤其是气动控制。优势包括：具有良好的抗弯性能，良好的耐磨、耐压、耐疲劳性能；更美观，轻便；高性价比和价格优势。
