例如，芯片蚀刻和光刻的区别氧等离子体具有很高的氧化性能，可以将光刻胶氧化成气体，达到清洗的目的。蚀刻气体等离子体具有良好的各向异性，可以满足蚀刻需要。之所以称为辉光放电加工，是因为在等离子体加工过程中会产生辉光。等离子清洗机的作用主要是靠等离子中的活性粒子“活化”，去除物体表面的污垢。
表面活化（化学）法主要有化学蚀刻法、发光法、等离子清洗机处理法、离子注入法、表面接枝聚合法等。等离子清洗机的表面改性是通过放电等离子来优化材料表面的结构。由于其特殊的环境和成本优势，芯片蚀刻和光刻的区别已成为业界常用的材料表面改性方法。连续驱动等离子清洗机可以处理 PIFE、PE、硅橡胶聚酯和横幅样品。聚丙烯和聚四氟乙烯等塑料具有非极性结构。这意味着这些塑料在印刷、涂漆和胶合之前需要进行预处理。这也适用于玻璃和陶瓷。
印刷电路板制造等离子蚀刻系统使用去污和蚀刻去除钻孔的绝缘层。对于许多产品，蚀刻和光刻区别例如工业、电子、航空和医疗保健，可靠性取决于两个表面层的粘合强度。无论表面层是金属、陶瓷、聚合物、塑料还是它们的复合材料，大气压等离子表面处理设备都可以改变粘合剂，提高最终产品的质量。改变任何表面的等离子功能都是安全、环保和经济的。对于许多行业来说，这是一个可行的解决方案。
