等离子表面处理在汽车行业中的应用 表面活化保险杠用于由预涂 PP/EPDM 化合物制成的保险杠，pdc-mgplasma刻蚀是汽车较大的外罩之一，作为单独的组件连接到汽车上。车辆安全保护、造型效果和空气动力学。为降低成本和油耗，对汽车轻量化的需求不断增加，汽车保险杠中低密度、耐腐蚀塑料材料的用量逐年增加。在众多塑料材料中，PP/EPDM塑料因其价格低廉、易于加工、灵活性大而受到汽车保险杠制造商的青睐。
1990年代以来，pdc-mgplasma刻蚀机器随着人们审美意识的变化对汽车外观的要求越来越严格。涂上塑料保险杠后，得到与车身相同的色泽，使汽车看起来更加一体，遮盖了塑料表面的花纹、划痕等缺陷，提高了表面硬度，增加了硬度。它具有抗紫外线性，在耐用性、耐候性、耐化学性、防尘性等方面具有更好的效果。因此，对如何涂装PP/EPDM保险杠的要求也越来越高。聚丙烯本身是一种具有低表面张力的低极性聚合物。
用三元乙丙橡胶改性后，pdc-mgplasma刻蚀涂层的耐溶解性有所提高，但其极性较低，PP和EPDM的相分布不均匀，加工成塑料制品时易向表面转移。化学添加剂和无机颜料和填料的运输会对PP/EPDM汽车保险杠的涂层产生不利影响，因此在喷涂前必须对基材进行适当的预处理。火焰法是一种常用的方法，它是利用火焰的氧化火焰部分（蓝色部分）与PP材料表面接触，直至表面光滑，氧化表面使其极性增加。
提高 PP/EPDM 汽车保险杠喷涂的可靠性和稳定性，pdc-mgplasma刻蚀并显着降低喷涂缺陷率。借助汽车灯座和灯壳中的 LED 技术，最新款的前照灯可以在汽车的整个生命周期内连续使用，而无需更换灯泡。为确保较长的使用寿命，您需要有效防止水分进入。聚丙烯 (PP) 和聚碳酸酯 (PC) 前照灯的附着力与尾灯一起使用时，粘合剂应具有出色的密封性能并提供可靠的粘合。
pdc-mgplasma刻蚀机器
以LA2O3/Y-AL2O3和CEO2/Y-AL2O3为催化剂时，C2H4和C2H2的收率分别为19.8%和21.8%。在等离子体中引入 PD/Y-AL2O3；催化剂显着提高了乙烯的选择性，将 C2H4/C2H2 的比值提高到 7.4，但降低了 C2H6 的转化率。同时将C2H2还原为C2H4。由 C2H6 引起。
上述实验结果表明，稀土氧化物催化剂有利于提高C2H6的转化率以及C2H4和C2H2的收率，PD/Y-AL2O3有利于C2H2的生产。
提高下行电迁移的性能。在铜布线中，下游电迁移故障一般比上游电迁移故障发生得更早，但如果上游结构的通孔存在空洞缺陷，则上游电迁移故障发生得更早，导致早期故障增加。随着集成电路功能尺寸的缩小，双镶嵌工艺的填铜问题成为一大挑战，而刻蚀定义的沟槽和通孔尺寸和形貌对于良好的填铜至关重要。 LIU等人系统研究了双大马士革结构的临界尺寸与EM初始断裂的关系。图 2 显示了蚀刻后的双镶嵌结构。
通过减小介质材料的厚度，减小沟槽的刻蚀深度，或者增加通孔的极限尺寸，可以减小纵横比，有效减少上游EM的过早失效。..减少层间介质材料和金属线的厚度会增加RC延迟，增加过孔的极限尺寸会导致与过孔相关的介质TDDB出现问题，因此需要找到EM或电。请注意，有是。参数和 TDDB。平衡点。
pdc-mgplasma刻蚀机器
在工艺开发的后期，pdc-mgplasma刻蚀沟槽刻蚀工艺是固定的，只能改变调整插塞高度的步骤。采用统一的实验设计，通过少量实验找到了合适的工艺。整个晶圆的蚀刻速率均匀性已经降低，但它与阻挡层沉积工艺相配合。它还消除了上游 EM 的初始故障。。等离子蚀刻对LOW-KTDDB的影响材料。 RC 延迟显着降低了电介质的机械性能并增加了缺陷。这些不利因素增加了金属互连之间击穿的严重问题。
