等离子体常用的激励频率有三种:激励频率为40kHz的超声波等离子体、激励频率为13.56MHz的射频等离子体和激励频率为2.45GHz的微波等离子体。不同的等离子体产生不同的自偏置电压。超声等离子体的自偏置约为1000V，拉拔式附着力试验仪射频等离子体的自偏置约为250V，微波等离子体的自偏置很低，仅为几十伏特，三种等离子体的机理不同。
第二个要考虑的问题是选择等离子清洗机的频率。频率选择：常用频率有40KHz、13.56MHz和20Mhz。 40kHz的自偏置电压约为0V，拉拔式附着力试验仪13.56MHz的自偏置电压约为250V，20MHz的自偏置电压较低，这三种激励频率的机理不同。发生在 40 kHz 的反应是物理反应，发生在 13.56 MHz 的反应既是物理反应又是化学反应。 20MHz有物理反应，但更重要的反应是化学反应。
在等离子清洗机设计中，拉拔式附着力试验仪为了将回路中的高频电流控制在合理范围内，高频发生器的输出阻抗常设计为纯电阻，电阻值一般为50Ω。高频放电阻抗一般为容抗，但由于等离子处理装置的反应室内放电条件的变化，高频放电阻抗的值会发生变化，所以将匹配网络和放电阻抗相加相加。后部模拟负载阻抗与高频发生器的输出阻抗相匹配，实现匹配。。
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氧自由基在化学反应过程中起着积极的能量传递作用。受激状态下的氧自由基能量高，容易与物体表层的分子结构融合，产生新的氧自由基。等离子体清洗机产生的新氧自由基也处于不稳定的高能状态，可能会发生分解反应，在变成更小分子的同时生成新的氧自由基。这个反应过程可能会继续下去，然后分解成H2O和CO2等简单的分子结构。
大气压等离子体清洗仪发射光谱分为线状光谱、带状光谱和连续光谱，在等离子体发射光谱诊断中以线状光谱和带状光谱为主。
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