例:O2+e→2O*+e-O*+有机物→CO2+H2O从反应公式中可以看出，金属表面打砂处理氧等离子体可以通过化学反应将非挥发性有机物转变为挥发性的H2O和CO2。例:H2+e→2H*+e-H*+非挥发性金属氧化物→金属+H2O从反应公式可以看出，氢等离子体可以通过化学反应去除金属表面的氧化层，清洁金属表面。物理清洗：以物理反应为主要表面反应的等离子体清洗，也叫溅射蚀刻(SPE)。
考虑到大气压等离子体放电过程独特，金属表面处理附近其应用不同于真空环境下产生的等离子体，我们今天单独讨论大气压等离子体。1.介质阻挡放电的定义介质阻挡放电(DBD)是介质材料插入金属电极之间产生的一种非平衡气体放电。
等离子体表面处理会改变材料本身的性能吗？等离子体表面处理仅对Amy-micron材料表面进行处理，氟锆酸金属表面处理仅对材料表面进行改性，对材料整体性能没有影响。。等离子体表面处理是解决玻璃、塑料、金属、橡胶等材料粘接难问题的有效方法。
从机理上看，金属表面处理附近等离子体清洗一般包括以下过程：无机气体被等离子体激发；气相物质吸附到固体表面；吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；产物分子分解成气相；反应残留物与表面分离。等离子体处理器清洗技术的特点是无论被处理对象的基板类型如何，都可以进行处理。它可以处理金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧甚至聚四氟乙烯，可以进行全面、局部和复杂结构的清洗。
氟锆酸金属表面处理
等离子清洗机在生物医学PEEK数据中的应用PEEK数据是一种应用广泛的聚合物数据，由于其突出的生物相容性、尺寸稳定性和皮质骨与松质骨之间的弹性模量，在医学非金属植入中也被广泛应用。例如人体骨骼、脊柱植入物、伤口修复、口腔医学中的临时基牙、正畸应用中的愈合帽和咬合棒等，PEEK数据之所以能广泛应用于生物医学领域，离不开等离子清洗机的外观处理技术。
因此，利用等离子体清洗剂对磁存储器进行等离子体刻蚀所面临的挑战如下：常规反应等离子体(RIE)面临金属蚀刻副产物非挥发性的问题；2.超薄单层材料叠层的结构要求极高的刻蚀选择性和方向性；③金属蚀刻常用的卤素气体易腐蚀超薄金属材料层。
在曲率半径较大的尖端电极附近，局部电场强度超过气体的电离场强度，导致气体电离激发，产生电晕放电。当电晕发生时，可以看到电极周围有光，并伴有滋滋作响的声音。电晕放电可以是一种相对稳定的放电形式，也可以是不均匀电场间隙击穿过程中的早期发展阶段。电晕放电的形成机理因针尖电极极性而异，主要是电晕放电过程中空间电荷的积累和分布不同所致。在直流电压作用下，负电晕和正电晕都在尖端电极附近积累空间电荷。
2.当等离子体发生器辉光放电区的等离子体发生器电流再次增大(10～10安培）时，阴极受到快离子轰击，在低气压下发射电子，这些电子在电场作用下向阳极方向加速。在阴极附近存在电位差较大的阴极电位下降区。等离子体发生器电极之间的中间部分是电位梯度较小的正柱区，其中介质是非平衡等离子体。正柱中的电子和离子以相同的速度向壁面扩散，并在壁面重新结合释放能量（没有气体对流时就是这种情况）。
金属表面处理附近
由于直流电压下电场方向不变，金属表面处理附近表面电荷难以消散，大量积累的电荷会导致复合绝缘子附近电场畸变，导致复合绝缘子放电，甚至沿表面闪络，严重威胁DCGIL设备的安全（完整）稳定运行。因此，等离子体设备被用来解决这一问题。。
等离子体清洗机/等离子体处理器/等离子体处理设备广泛应用于等离子体清洗、等离子体刻蚀、隔离胶、等离子体涂层、等离子体灰化、等离子体处理和等离子体表面处理等领域。
