为了探讨等离子体作用下纯乙烷转化反应的可能机理，附着力与剪切力区别在相同等离子体条件下考察了纯乙烯的转化反应，其反应的主要产物是：C2H2和CH4及少量积碳。根据上述实验事实，结合等离子体作用下甲烷转化反应机理及等离子体特性，推测C2H6在等离子体条件下转化反应的历程如下。（1）等离子体场产生高能电子。自由电子在电场E作用下加速，生成高能电子e*： e + E → e*（3-26）（2）引发自由基反应。
主要是通过产品的表面等离子体产生一系列的物理和化学变化,活性粒子和高能射线的使用包含在表面的有机污染物分子的反应和碰撞形成小分子挥发性物质,从表面,达到清洁的效果。等离子射频等离子清洗机的基本系统选择主要包括频率的选择、腔体材料的选择、机器真空泵的选择以及气路的选择。等离子体频率选择:现在常用的频率有40KHz、13.56MHz、20MHz。这三种积分频率的形成机理不同于处理过程。
由于高温等离子体对物体表面的强烈影响，附着力与剪切力区别在实际应用中很少使用。目前只使用低温等离子体。(2)活性气体和惰性气体等离子体,根据使用的不同化学性质的气体产生等离子体,可以分为惰性气体等离子体活性气体等离子体,惰性气体,如氩气(Ar)、氮(N2),氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4),等，活性气体，如氧气(O2)和氢气(H2)，在清洗过程中有不同的反应机理。
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涂层附着力与耐候性机理
活性粒子产生通过等离子体辐射的紫外光高能电子与中间气态分子混合相互作用，这些由电子激发产生的活性物质，即参加反应的活性种粒子，其产生过程如下：式中：hv——等离子体辐射的紫外光能。
(3)工艺气体通常是高洁净气体，过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、报警器、报警器输出报警器表、真空电磁阀及质控器。工艺气体一般是两路，也可以根据实际需要配置多路工艺气体。(4)按照这种气路布置，进气顺序是：先由过滤器将气体输送到调压阀，压力表输出表，然后依次通过真空电磁阀和质量控制器。
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等离子体表面处理器工艺还具有以下五大优势：1.环保技术：等离子体表面处理工艺为气固相干反应，不消耗水资源，不添加化学物质。2.效率高：整个流程可在短时间内完成。3.成本低：装置简单，操作维护方便，少量气体代替昂贵的清洗液，无废液处理费用。4.处理更精细：可进一步精细孔洞和凹陷，完成清洁任务。5.适用性广：等离子体表面处理工艺可实现对大多数固体物质的处理，因此应用广泛。
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