等离子体清洗机和等离子体表面处理器的相变存储器下电极接触孔的蚀刻过程:在相变存储器的存储单元中加热器和贯穿;下电极接触的大小对器件性能至关重要。更小的尺寸意味着更高的电流密度，极耳等离子体表面清洗更高的加热效率，更小的相变材料面积在较低的电极接触。以GST为相变材料的叶片形氮化硅电极接触的结构和过程，可以形成沿位置线方向尺寸小于20nm的低电极接触。
另一方面，极耳等离子表面处理高能亚稳态表面通过吸收空气中的小分子降低表面能，等离子体处理效果的衰减是材料表面的动态复合。经冷等离子体处理后，NBR5080表面粗糙度增大，表面能提高，原有稳定基团变为活性基团，1)冷等离子体处理可以提高NBR5080的表面润湿性和表面能;2)NBR5080经冷等离子体处理后表面粗糙度增加;3)冷等离子体处理后，NBR5080与PTFE的结合性能提高。。
大多数物理清洗过程需要高能量和低电压。在轰击前，极耳等离子体表面清洗物体表面的原子和离子受到轰击。因为它在加速，它需要大量的能量，所以其中的原子和离子运动得更快。空气压力必须保持在较低的水平，以增加原子碰撞前的平均距离，平均自由路径越长，被清理物体表面的离子被轰击的可能性就越大。这样可以达到表面处理、清洗、腐蚀的效果(清洗过程有轻微的腐蚀过程);清洗后，将蒸发的污垢和清洗气体排出，同时将空气返回到室内真空，使其恢复到常压。
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在线等离子清洗机设备在清洗工艺中的应用:等离子设备与传统加工工艺相比有哪些优势?等离子体效率环节是气固共格化学反应，不消耗水和化学试剂，对自然环境是绿色的。气体干燥的处理方法在整个过程中不需要还原剂和水，几乎不会造成环境问题，节能环保，节省更多成本。在线等离子清洗机采用自动清洗方式，适用于大型生产线，节省了人工，降低了人工成本，使清洗效率得到了很大的提高，其优势尤为明显。
(C, H, O, N)+(O+OF+CO+COF+F+e)CO2+H2O +NO2 +与SiO2和Si组成的玻璃纤维的化学反应:HF+ SiO大气等离子体处理装置，在等离子体化学反应中起化学作用主要粒子是正离子和自由基。
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