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真空等离子体清洗设备的原理主要取决于等离子体中活性粒子的&ldquo；激活&rdquo；达到去除物体表面污渍的目的。
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例如，电子与电子的碰撞达到热力学平衡，并有一个特定的气温，叫做电子气温。离子体-离子体碰撞达到热力学平衡具有一定的气温Ti，称作离子体温度，但由于电子和离子体之间的质量差异，虽然也发生了碰撞，但未必能达到平衡，因此Te和Ti不一定一样。 如果放电发生在接近大气压的高压环境中，电子、离子和中性颗粒会通过激烈的碰撞产生交换动能，使等离子体达到热力循环。
在线式等离子清洗机实际上是由多台独立的等离子清洗机组成，形成全自动运行模式，既可与流水线配套使用，又可与上下游生产工序配套。这种设备在一定程度上大大提高了工业生产中的生产率。这种设备有一个很大的优点，就是在原有等离子清洗技术的前提下，增加了装卸料、物料传输等全自动操作的功能，不仅可以精细化处理，而且避免了二次污染，直接进入下一道工序，保证了处理的有效性。
一般把电子间碰撞达到热力学平衡的温度称为Te，也就是电子温度。而当等离子表面处理设备离子碰撞时，达到热力学平衡的温度是Ti，也就是离子温度，实际上，Te和Ti通常是不同的。高气压条件接近大气压时放电，则电子、离子、中性粒子将因激烈碰撞而充分交换动能，使等离子体达到热平衡状态，电子温度与离子温度相近，属低温等离子体中的热等离子体。
等离子清洗的应用始于 20 世纪初。随着高新技术产业的快速发展，其应用越来越广泛，现已在许多高新技术领域中处于重要技术地位。以及人类文明的影响，电子信息产业，尤其是半导体和光电子产业。等离子清洁剂用于有效的表面清洁、活化和微粗糙化。通过对物体表面施加等离子冲击，可以达到对物体表面进行蚀刻、活化和清洁的目的。
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