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表 3.9 不同刻蚀机侧壁形貌宽度的差异WaferCDBottom-CDMiddle / nmICP EtcherCCP Etcher10.9220.52.530.31.7412.4512.260.60.3Average0.71.6 除了均匀性，顶损也是等离子清洗设备侧壁刻蚀工艺中侧壁刻蚀的重要参数。低顶部高度损失会影响多晶硅栅极的金属化厚度并增加金属栅极的电阻。
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该产品除拥有其它等离子清洗机的优点外，广东等离子清洗机设备更具有性能稳定、性价比高、清洗效率高、操作简便、使用成本极低、易于维护的优点。产品能适应不同用户对设备的特殊要求。清洗舱的材料有耐热玻璃和不锈钢可选择，不锈钢类清洗舱有圆形和方形可选择。仪器性能、整机规格和清洗舱的尺寸可根据用户的实际需要而定制。
那麼，广东等离子清洗机设备以轿车锂电池为比如，低温等离子清洁液在动力锂电池的出产制作进程中能够扮演什么角色？ 您能出示哪些帮忙？ 在轿车动力锂电池的出产制作进程中，等离子技术清洗设备的外表解决一般 从三个层面展开运用，即进步正负极板涂敷前陶瓷膜的润滑性； 锂电电焊焊接前连接片的整理； 及其锂电池组件在外界粘胶曾经改善绝缘板，端板，PET塑料薄膜和其他金属复合资料及其绝缘层资料的外表粘合力。
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