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被清除的污染物可能有有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等，广东销售等离子清洗机腔体厂家现货所以射频等离子清洗是一种高精密清洗。 就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程： （1）无机气体被激发到等离子态； （2）气相物质被吸附在固体表面； （3）被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子； （4）产物分子解析形成气相； （5）反应残余物脱离表面。 通过以下几个反应式及图1、图2和图3对清洗方式做详细说明。
